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近期，中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心魏朝阳研究员团队基于CO2激光的缺陷表征与去除过程，实现了高抗紫外激光损伤熔石英元件制造。相关研究成果发表于Light: Advanced Manufacturing。
熔石英元件紫外激光诱导损伤问题严重制约了高功率激光系统的发展。由于目前接触式研抛工艺不可避免得存在加工缺陷，且难以被后处理完全去除，大大降低了熔石英元件使用性能和寿命。
图1 （a）传统工艺链路；（b）CO2激光加工链路；（c）三维全口径亚表面缺陷表征方法
图2 传统工艺制备样品（conventional）与CO2激光加工链路制备样品（laser-based）损伤性能对比：（a）1-on-1损伤概率（355nm，8.3ns）；（b）典型损伤形貌
