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借助超短脉冲深紫外激光器，团队实现了对玻璃材料的微米级精密加工——穿透孔直径小于10微米，纵横比可达20:1。此前，基于酸性溶液的蚀刻工艺难以制备高纵横比孔结构，而深紫外激光直接加工技术不仅突破了这一瓶颈，更实现了无裂纹的高质量孔型加工。此外，该工艺无需化学处理步骤，可显著减少液体废弃物处理带来的环境负担。
免责声明:文章转载自网络，仅供行业学习交流之用，侵删
东京大学成功开发玻璃基板激光微孔加工新技术
借助超短脉冲深紫外激光器，团队实现了对玻璃材料的微米级精密加工——穿透孔直径小于10微米，纵横比可达20:1。此前，基于酸性溶液的蚀刻工艺难以制备高纵横比孔结构，而深紫外激光直接加工技术不仅突破了这一瓶颈，更实现了无裂纹的高质量孔型加工。此外，该工艺无需化学处理步骤，可显著减少液体废弃物处理带来的环境负担。
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