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据激光行业观察了解，近日，珠海祺力电子科技有限公司（下称 “祺力电子”）自主研发的高功率窄线宽深紫外激光器取得重大突破，成功破解半导体前道晶圆检测核心光源长期依赖进口的 “卡脖子” 难题，实现了从核心光源到检测整机的垂直一体化国产替代。
长期以来，半导体检测设备中的高功率深紫外激光器被少数国外企业垄断，成为制约我国半导体检测产业升级的“卡脖子”环节。进口激光器不仅价格昂贵、交货周期长，而且在关键技术指标上受到严格限制，严重影响了国内半导体检测设备厂商的自主发展。
据祺力电子技术负责人介绍，该激光器在光束质量、功率稳定性和输出寿命等核心指标上均达到国内先进水平，同时解决了波长漂移、长期功率衰减等行业共性难题。更关键的是，该激光器可直接配套于公司自研的半导体检测设备，实现了从光源到整机的全链条自主可控，大幅降低了对进口激光光源的依赖。
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